MACH-3A 653規格表
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項目
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型號
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MACH-3A 653
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測量范圍
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X 軸
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600mm
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Y 軸
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500mm
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Z 軸
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280mm
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測量速度
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1 - 30mm/s (用于 TP7M)
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最大驅動速度
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各軸 8 - 700mm/s; 所有軸 1212mm/s
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最大驅動加速度
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各軸 6860mm/s2 ; 所有軸 11882mm/s2
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精度*
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19 - 21oC
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MPEE = 2.5+3.5L/1000μm
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5 - 40oC
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MPEE = 3.9+6.5L/1000μm
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* 使用TP7M (測針：?4x20mm)。 L：測量長度(mm)?？纱_保精度的溫度范圍在5-40oC以外時，請與三豐公司聯系。
MACH-3A 653可確保精度的溫度環境
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溫度環境
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可確保精 度的溫度 環境
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溫度范圍
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5 - 40oC
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溫度變化
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每小時2.0K以內
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每24小時10.0K以內
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溫度梯度
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垂直1.0Km以下
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水平1.0K/m以下
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